變送器的發(fā)展大方向說(shuō)明

          變送器的發(fā)展將有以下幾大方向： 

          MEMS工藝和微變送器 ：在硅平面工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種通用的精密三維加工技術(shù)，是研究變送器、微執(zhí)行器、微機(jī)械系統(tǒng)的MEMS工藝較好的素材。

          MEMS技術(shù)在國(guó)外的發(fā)展已經(jīng)有30年的歷史。應(yīng)用MEMS工藝，不僅可以制造簡(jiǎn)單的三維微結(jié)構(gòu)，而且可以做成三維運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和復(fù)雜的力平衡結(jié)構(gòu)，使現(xiàn)代變送器技術(shù)從單一的物性型進(jìn)入以微電子和微機(jī)械集成技術(shù)為主導(dǎo)的發(fā)展階段。微機(jī)電變送器的優(yōu)良性能和好的性?xún)r(jià)比，將取代傳統(tǒng)的變送器而占有較大的市場(chǎng)份額。

          集成工藝和集成變送器：采用混合集成工藝，將微變送器、微驅(qū)動(dòng)器、微執(zhí)行器以及信號(hào)處理器和控制電路、接口、通訊和電源等組成一體化系統(tǒng)。

          集成工藝的進(jìn)一步發(fā)展，可以使硅微變送器和微電子系統(tǒng)以及微執(zhí)行器制造在一個(gè)芯片上形成單片集成，構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)工作系統(tǒng)，這不僅是傳感技術(shù)概念的擴(kuò)展和引申，還會(huì)在工業(yè)過(guò)程控制、航空航天、生物醫(yī)學(xué)等方面發(fā)揮作用。 

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